1. Fijne mechanische onderdelenverwerking
Wanneer de bewerkingsnauwkeurigheid van fijne onderdelen zich in nanometers bevindt en ten slotte in atoomeenheden (atoomroosterafstand is 0,1 ~ 0,2 nanometer), kunnen de snijmethoden van ultrafijne onderdelen niet langer worden aangepast. Het is noodzakelijk om te vertrouwen op speciale verwerkingsmethoden voor fijne onderdelen, dat wil zeggen de toepassing van chemische energie. , Elektrochemische energie, thermische energie of elektrische energie, enz., maken deze energie overtreffen de hechtingsenergie tussen atomen, om de hechting, verlijming of roostervervorming tussen de lokale atomen op het oppervlak van het werkstuk te verwijderen, om het doel van ultrafijne verwerking te bereiken. Dit type verwerking omvat mechanochemisch polijsten, ionensputteren en ionenimplantatie, blootstelling aan elektronenstralen, laserstraalverwerking, metaalverdamping en moleculaire bundeleptaxis.
2. Snijden van fijne mechanische onderdelen
Omvat voornamelijk fijndraaien, spiegelslijpen en slijpen. Micro-draaien wordt uitgevoerd op een fijne draaibank met een precisiegemalen enkelkristal diamantdraaigereedschap. De snijdikte is slechts ongeveer 1 micron. Het wordt vaak gebruikt voor het verwerken van non-ferrometaalmaterialen zoals bolvormige oppervlakken, asferische oorlogsoppervlakspiegels en andere zeer nauwkeurige onderdelen met hoogglansoppervlakken. . Een asferische spiegel met een diameter van 800 mm voor kernfusie-installatie heeft bijvoorbeeld een maximale nauwkeurigheid van 0,1 micron en een oppervlakteruwheid van Rz 0,05 micron.
